تاثیر مشخصات هندسی بر حساسیت سنسور شتاب سنج حرارتی MEMS
Effect of Geometric Characteristic on Sensitivity of MEMS Thermal Accelerometer
نویسندگان :
شبنم قادری ( دانشگاه ارومیه ) , ابراهیم عباسپور ثانی ( دانشگاه ارومیه ) , محمد طهماسبی پور ( دانشگاه تهران )
کليدواژه ها
شتاب سنج حرارتی، سیستم های میکروالکترومکانیک (MEMS)، مدلسازی، روش المان محدود(FEM)کد مقاله / لینک ثابت به این مقاله
برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است :نحوه استناد به مقاله
در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:, 1395 , تاثیر مشخصات هندسی بر حساسیت سنسور شتاب سنج حرارتی MEMS , بیست و چهارمین کنفرانس مهندسی برق ایران
