A 3-Axis MEMS Capacitive Accelerometer Free of Cross Axis Sensitivity
A 3-Axis MEMS Capacitive Accelerometer Free of Cross Axis Sensitivity
نویسندگان :
هادی قاسم زاده مومن ( ITU ) , هادی توکلی ( ) , ابراهیم عباسپورثانی ( )
کليدواژه ها
3-axis capacitive accelerometer,MEMS sensor,free cross axis sensitivity,comb electrodeکد مقاله / لینک ثابت به این مقاله
برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است :نحوه استناد به مقاله
در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:, 1395 , A 3-Axis MEMS Capacitive Accelerometer Free of Cross Axis Sensitivity , بیست و چهارمین کنفرانس مهندسی برق ایران
