Design and Finite Element Analysis of a MEMS Based Capacitive Pressure Sensor Using CNT/PDMS Nanocomposite Electrodes
Design and Finite Element Analysis of a MEMS Based Capacitive Pressure Sensor Using CNT/PDMS Nanocomposite Electrodes
نویسندگان :
سیاوش زرگری ( دانشگاه تبریز ) , صبا فلکی ( دانشگاه تبریز ) , هادی ولادی ( دانشگاه تبریز )
کليدواژه ها
Micro Electro Mechanical Systems (MEMS); Capacitive Pressure Sensor; Membrane; Stress and sensitivity; Displacement; COMSOL multiphysics; CNT/PDMS compositeکد مقاله / لینک ثابت به این مقاله
برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است :نحوه استناد به مقاله
در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:, 1395 , Design and Finite Element Analysis of a MEMS Based Capacitive Pressure Sensor Using CNT/PDMS Nanocomposite Electrodes , بیست و چهارمین کنفرانس مهندسی برق ایران
