طراحی وساخت سیستم لیتوگرافی نوری تصویری با استفاده از دیودنوری توان بالا
DESIGNING AND CONSTRUCTING OF PROJECTION PHOTOLITHOGRAPHY SYSTEM USING HIGH POWER LED
نویسندگان :
علی جوکار ( shiraz university ) , سجاد دهقانی ( shiraz university ) , محمد حسین شیخی ( shiraz university )
کليدواژه ها
فوتولیتوگرافی - ماسک - دیود نوری توان بالای ماورای بنفشکد مقاله / لینک ثابت به این مقاله
برای لینک دهی به این مقاله، می توانید از لینک زیر استفاده نمایید. این لینک همیشه ثابت است :نحوه استناد به مقاله
در صورتی که می خواهید در اثر پژوهشی خود به این مقاله ارجاع دهید، به سادگی می توانید از عبارت زیر در بخش منابع و مراجع استفاده نمایید:, 1395 , طراحی وساخت سیستم لیتوگرافی نوری تصویری با استفاده از دیودنوری توان بالا , بیست و چهارمین کنفرانس مهندسی برق ایران
